1. 按光學原理分為正向、反向二種，傳統(tǒng)為反向；正向光路是在原來的光路系統(tǒng)基礎上加棱鏡后再二次折射而得，理論上會造成光路的衰減。

2. 按結構分為三種：

臺式，緊湊型，行程較小，一般為立式光路系統(tǒng)；

立式，物鏡光軸垂直于工作臺面；

臥式，物鏡光軸平行于工作臺面；

3. 按投影屏的大小分類有：

Φ300mm型

Φ350mm型

Φ400mm型

Φ500mm型

Φ600mm型

Φ800mm型

Φ1000mm型

Φ1200mm型

4. 按性能分為三種

手輪測量-測微手輪精度低，沒有快速移動

數(shù)字式-通過光柵尺把位移信號轉換為數(shù)字模擬信號處理得出結果

數(shù)據(jù)處理測量-通過數(shù)據(jù)處理軟件得出結果，并可導出數(shù)據(jù)。

5. 按工作臺行程分

X*Y=50*50

X*Y=150*50

X*Y=200*100

X*Y=250*150

X*Y=250*200

X*Y=300*200

X*Y=400*300

臥式光路的Y為Z方向。